基于5G通信的硅基IPD滤波器研究与验证

来源 :电子设计工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：mbranger

【摘要】

：

随着5G通信的逐步发展,系统对于高密度、小体积、低成本提出了更高的要求。硅基集成无源器件(IPD)因其尺寸小、设计工艺与CMOS工艺相兼容,而被广泛应用于系统级封装(SIP)。为

【作者】

：

彭刚彬周云燕曹立强

【机构】

：

中国科学院微电子研究所,中国科学院大学,华进半导体封装先导技术研发中心有限公司

【出处】

：

电子设计工程

【发表日期】

：

2019年20期

【关键词】

：

IPD 薄膜技术半加成工艺滤波器硅基 5G通信

【基金项目】

：

国家自然科学基金(U1730143)

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随着5G通信的逐步发展,系统对于高密度、小体积、低成本提出了更高的要求。硅基集成无源器件(IPD)因其尺寸小、设计工艺与CMOS工艺相兼容,而被广泛应用于系统级封装(SIP)。为提高电容密度,增大电感品质因数,提高整体滤波器的性能,结合硅基薄膜技术、半加成工艺分别制备电容、电感,设计了基于5G通信的双零点电容耦合带通滤波器。该滤波器具有低成本、小尺寸(1.1mm*0.68mm)、低带内插损([email protected])和较好的带外抑制(零点位置:[email protected]和[email protected])

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