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研究了采用HF和HNO3非择优腐蚀多晶硅表面制备绒面的机理。通过实验分析了酸混合液的体积浓度配比、添加剂、温度和时间等因素对腐蚀速率和腐蚀后表面形貌的影响；总结出了多晶Si的酸腐蚀规律，得到了制备理想绒面的酸混合液体积配比（V（HF）：V（HNO3）：V（CH3COOH）=1：12：6）。在此基础上提出了优化设计方案：采用廉价的水代替醋酸作为缓蚀剂，腐蚀过程置于超声槽中进行，利用超声波的振动使反应生成的气泡快速脱离多晶Si片表面，同时使腐蚀液浓度分布更加均匀，从而制备出效果更佳的多晶Si绒面。