【摘 要】
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对多线切割过程，碳化硅微粉的性质和标准进行了介绍，描述了碳化硅微粉在多线切割过程中的作用，讨论了砂浆的配制方法及注意事项；由于砂浆的成本在整个切割过程中占据了相当大的一
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十六研究所
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对多线切割过程，碳化硅微粉的性质和标准进行了介绍，描述了碳化硅微粉在多线切割过程中的作用，讨论了砂浆的配制方法及注意事项；由于砂浆的成本在整个切割过程中占据了相当大的一部分，因此如何降低砂浆的成本是一个热点问题；根据硅片生产厂家的实践发现，使用一定比例的回收碳化硅微粉能够降低生产成本，同时对硅片表面质量影响较小，并且有利于环境保护。因此具有可行性。
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