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沿着z轴方向传播的无衍射光决定了一条空间直线。加之无衍射光束的光轴比准直激光束稳定，适于作空间直线度／同轴度误差测量的直线基准。以无衍射光为基准，结合圆度测量及其修正技术，实现了一种内孔同轴度的高精度测量技术。介绍了内孔同轴度测量技术的工作原理，并从误差的理论分析和试验来作了证明。
以无衍射光为基准的内孔同轴度测量仪
【摘 要】
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沿着z轴方向传播的无衍射光决定了一条空间直线。加之无衍射光束的光轴比准直激光束稳定，适于作空间直线度／同轴度误差测量的直线基准。以无衍射光为基准，结合圆度测量及其修正
【机 构】
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华中科技大学机械科学与工程学院
【出 处】
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激光技术
【发表日期】
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2004年2期
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