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介绍了谐波的产生原理及对直拉单晶炉电源的影响和危害，安装一种滤波器，提高了供电质量，满足了设备的热场要求，并通过检测仪器得到了验证，该装置已在实际工作中成功应用。
直拉单晶炉直流加热电源谐波对设备的影响与治理
【摘 要】
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介绍了谐波的产生原理及对直拉单晶炉电源的影响和危害，安装一种滤波器，提高了供电质量，满足了设备的热场要求，并通过检测仪器得到了验证，该装置已在实际工作中成功应用。
【机 构】
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有研半导体材料股份有限公司
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2013年9期
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