生产资料的不断积累和更新带来经济系统中各产业的资本深化,资本深化又带来资本体现式技术进步,有偏技术进步则使不同要素的技术效率发生不同的变化,影响各要素的投入结构和产出效率,进而推动产业升级.采用1998—2019年中国35个工业行业的面板数据,运用标准化供给面系统方程估计要素替代弹性,并测算各行业的劳动技术效率和资本技术效率,结果表明,多数行业的劳动技术效率高于资本技术效率,且劳动技术效率呈现上升趋势,而资本技术效率先上升后下降.进一步采用中介效应模型分析发现,要素技术效率在资本深化促进产业升级中具有显著的部分中介效应:资本深化、劳动技术效率提高和资本技术效率提高均可促进产业升级,资本深化可以通过提高劳动技术效率促进产业升级,但也可能通过降低资本技术效率抑制产业升级.因此,要加快技术进步,提高人力资本水平,适度推进资本深化,优化要素配置,充分发挥要素技术效率提高对产业转型升级的促进作用,进而通过产业升级推动经济高质量发展.