【摘 要】
：
针对微加工工艺过程造成的残余应力,文中提出了喇曼在线测量方法,并对最常用的三种微加工工艺：淀积、腐蚀或刻蚀及键合进行了喇曼在线测量.测量结果与理论分析相符,淀积工艺中
【机 构】
：
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,北京大学微电子研究院
论文部分内容阅读
针对微加工工艺过程造成的残余应力,文中提出了喇曼在线测量方法,并对最常用的三种微加工工艺：淀积、腐蚀或刻蚀及键合进行了喇曼在线测量.测量结果与理论分析相符,淀积工艺中,氮化硅对硅片造成的残余应力比氧化硅造成的大,且氧化硅在硅衬底上形成的残余应力是压应力,氮化硅形成的是张应力;刻蚀工艺和键合工艺对硅片造成了相对较大的应力分布,且都为张应力,最大值超过300MPa.
其他文献
以1、0.1、0.01 mol/L的盐酸、柠檬酸、酒石酸溶液为溶剂溶解定容提纯的桑葚色素,将色素溶液分别进行70℃水浴加热5h、超声处理1h、自然光照3d,以512nm处吸光度变化率观察桑
本文通过对不同的资金管理模式和各类集团企业不同时期资金情况的分析和研究,探讨了集团企业在业务发展过程中如何选择适合自己的资金管理模式,提高资金的周转使用率,实现对
北海区域丰富的油气资源吸引了各种高精尖半潜钻井平台云集此地,各船厂、设计公司也争相研发适用于北海恶劣海况的半潜钻井平台。从长远的发展来看,Winterization Basic这一
为对产品真实性提供技术支撑,作者建立了食品和饲料中火鸡源性成分的检测方法。采用TaqMan探针实时荧光PCR方法,对火鸡源性成分特异性、灵敏度进行检测并进行实际应用。实验