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利用脉冲激光沉积（PLD）的方法，在Si02／Si衬底成功制备了钙钛矿结构的La0．5Sr0．5CoO3薄膜．对制备的薄膜生长的薄膜进行了XRD测量分析，并且对薄膜的表面形貌进行了测量分析．着重对薄膜的电阻进行了测量，发现环境气氛对电阻的影响，进而对薄膜湿敏电阻进行了测量．
La0．5Sr0．5CoO3薄膜的制备及其湿敏性质的研究
【摘 要】
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利用脉冲激光沉积（PLD）的方法，在Si02／Si衬底成功制备了钙钛矿结构的La0．5Sr0．5CoO3薄膜．对制备的薄膜生长的薄膜进行了XRD测量分析，并且对薄膜的表面形貌进行了测量分析．着重对薄膜的
【机 构】
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昆明理工大学光电子材料研究所,昆明物理所
【出 处】
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昆明理工大学学报(理工版)
【发表日期】
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2006年6期
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