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针对隧道效应对位移具有极高灵敏度的特点,设计了一种隧道式硅微加速度计.在介绍其结构和工作原理的基础上,提出了一种新的加工工艺,由该工艺制作的第一批器件成功地观测到隧道效应.
隧道式硅微加速度计的设计和制作
【摘 要】
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针对隧道效应对位移具有极高灵敏度的特点,设计了一种隧道式硅微加速度计.在介绍其结构和工作原理的基础上,提出了一种新的加工工艺,由该工艺制作的第一批器件成功地观测到隧
【机 构】
：
中国空间技术研究院,北京大学
【出 处】
：
传感器技术
【发表日期】
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2003年12期
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