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提出了用灰阶编码的二元掩模代替灰阶掩模实现邻近效应精细校正的新方法, 并阐述了新方法的特点。 讨论了灰阶编码掩模与灰阶掩模的等效关系, 给出了灰阶编码掩模实现光学邻近效应校正的模拟结果, 校正后的综合面积偏差比校正前减少了10%。
用灰阶编码掩模实现邻近效应精细校正的研究
【摘 要】
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提出了用灰阶编码的二元掩模代替灰阶掩模实现邻近效应精细校正的新方法, 并阐述了新方法的特点。 讨论了灰阶编码掩模与灰阶掩模的等效关系, 给出了灰阶编码掩模实现光学邻近效应校正的模拟结果, 校正后的综合面积偏差比校正前减少了10%。
【机 构】
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四川大学物理系,成都610064内江教育学院,内江641002CentralMicrostructureFacility,RutherfordAppletonLaboratory,Chilton,Di
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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2000年20期
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