【摘 要】
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为了提高液环式角加速度传感器的环境适应性,本文对器件的结构和制作工艺进行了研究,获得影响器件环境适应性的三大因素,分别是玻璃毛细管的直径、敏感组件内的压强、以及软
【机 构】
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南京电子器件研究所,空军驻江苏地区军事代表室,
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为了提高液环式角加速度传感器的环境适应性,本文对器件的结构和制作工艺进行了研究,获得影响器件环境适应性的三大因素,分别是玻璃毛细管的直径、敏感组件内的压强、以及软胶的涂覆方法。通过选取合适的毛细管的直径、敏感组件内的压强,以及正确的软胶涂覆方法,制作的器件在28.5g、5000Hz、低温-45℃随机振动中,输出信号正常率达到90%以上。
In order to improve the environmental adaptability of the liquid ring angular acceleration sensor, the structure and fabrication process of the device are studied in this paper. Three factors that influence the environmental adaptability of the device are obtained: the diameter of the glass capillary, the pressure in the sensitive component, Rigid coating method. By selecting the appropriate capillary diameter, the pressure inside the sensitive component, and the correct soft coating method, the device is fabricated with 28.5g, 5000Hz, low temperature -45 ℃ random vibration, the output signal normal rate of more than 90%.
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