波长扫描干涉仪信号处理技术

来源 :中国激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zzslcg123
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
提出了一种可用于绝对距离测量的光纤扫描干涉仪。基于数字信号处理技术,设计了一种算法,从而有效地提高了相位的分辨率、滤除噪声和干扰并克服了扫描过程中波长的随机晃动,可达到距离测量所要求的0.05μm的精度和0.01μm的分辨率 An optical fiber scanning interferometer can be used to measure the absolute distance. Based on the digital signal processing technology, an algorithm is designed to effectively improve the phase resolution, filter out noise and interference and overcome the random fluctuation of the wavelength in the scanning process, which can achieve the required precision of 0.05μm And 0.01 μm resolution
其他文献