纳米接触问题的连续方法建模与计算

来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：myloud911

【摘要】

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针对微电子机械系统中的"微碰撞"、"微接触"、"纳米摩擦"等现象,根据Hamaker3个假设和经典弹性理论,采用连续介质力学方法,建立了球-球、球-面接触的弹性物理模型;给出了粘着

【作者】

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张锡义涂苏龙樊康旗

【机构】

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青岛理工大学环境与市政工程学院,青岛理工大学国有资产管理处,西安电子科技大学机电工程学院

【出处】

：

仪器仪表学报

【发表日期】

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2005年z2期

【关键词】

：

微电子机械系统纳米接触 Hamaker假设弹性理论 MEMS Nano-contact Hamaker hypotheses Elastic theory

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针对微电子机械系统中的"微碰撞"、"微接触"、"纳米摩擦"等现象,根据Hamaker3个假设和经典弹性理论,采用连续介质力学方法,建立了球-球、球-面接触的弹性物理模型;给出了粘着力引起的球-球、球-面间接触半径的计算方法;指出在分析计算与微观接触有关的问题时必须考虑粘着力.从而为纳米接触、纳米摩擦的进一步研究提供理论基础.

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