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在力学显微镜和光力学的研究中，微悬臂是一种被广泛使用的微机械器件。为了了解微悬臂的模态信息，采用ARMA模型对微悬臂进行系统辨识和模态参数识别。针对观测噪声会使时间序列模型辨识精度变低的问题，研究如何将带有观测噪声的ARMA模型转化为无观测噪声的ARMA模型。得到微悬臂的ARMA模型后将其转化为连续系统的传递函数，再从传递函数中求出微悬臂的各模态参数。为了减小微悬臂对外力的延迟响应时间，根据系统辨识得到的模型，构造一个复原滤波器，微悬臂的位移信号通过这个复原滤波器后得到作用力信号。仿真及实验结果证明了所用