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将迈克尔逊干涉实验装置用于用压电陶瓷驱动和柔性铰链导向的一体化微定位工作台，通过实验研究了其位移与电压的关系．实验结果表明它们在限定的工作范围内具有良好的二次曲线关系．另外。还对影响系统定位的误差作了相关分析．
用迈克尔逊干涉仪测微定位工作台的位移
【摘 要】
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将迈克尔逊干涉实验装置用于用压电陶瓷驱动和柔性铰链导向的一体化微定位工作台，通过实验研究了其位移与电压的关系．实验结果表明它们在限定的工作范围内具有良好的二次曲线关
【机 构】
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中国计量学院计量技术工程学院
【出 处】
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中国计量学院学报
【发表日期】
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2006年4期
其他文献
在以高速数字摄像机为核心的高精度弹体姿态测量系统中,对炸弹进行姿态测量时,成像光学系统的固有特性使得数字图像存在畸变。根据像差理论建立了三次多项式的畸变校正模型,分析比较了不同的灰度重建方法的优缺点,进行了三次卷积法的灰度重建,并进行了仿真实验。校正后的图像可用于高精度的弹体姿态测量。