【摘 要】
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采用化学沉淀法分步制备了分散性好、团聚少的纳米Y2O3、Nd2O3和Al2O3粉体,经球磨混合和喷雾干燥后,获得了颗粒形貌为球形、粒径在20-40μm间的混合陶瓷粉体。粉体经成型后,
【机 构】
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北京雷生强式科技有限责任公司,华北光电技术研究所,中国科学院半导体研究所
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采用化学沉淀法分步制备了分散性好、团聚少的纳米Y2O3、Nd2O3和Al2O3粉体,经球磨混合和喷雾干燥后,获得了颗粒形貌为球形、粒径在20-40μm间的混合陶瓷粉体。粉体经成型后,采用真空烧结工艺制备出了直径为75 mm、厚度5 mm的高透明Nd∶YAG陶瓷,其在1064 nm和400 nm处的透过率均高于80%,接近于Nd∶YAG单晶的理论透过率。应力和干涉条纹测试结果表明,所制备的Nd∶YAG透明陶瓷应力分布均匀,干涉条纹平直,具有良好的光学均匀性。FESEM和XRD测试结果表明,陶瓷的晶粒尺寸在1
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