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针对国内外在硅微型压阻式压力传感器上的研究进展和产业化情况，从复合弹性元件的设计、芯片微加工工艺、芯片无应力封装和后期动静态标定等方面指出了其深入研究方向，以及产业化存在的问题和相应的对策。
基于MEMS技术的超微压压力传感器研究进展
【摘 要】
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针对国内外在硅微型压阻式压力传感器上的研究进展和产业化情况，从复合弹性元件的设计、芯片微加工工艺、芯片无应力封装和后期动静态标定等方面指出了其深入研究方向，以及产业
【机 构】
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温州大学工业工程学院教授博士生（江苏大学）,江苏大学机械工程学院博士生,江苏大学机械工程学院教授博士生导师
【出 处】
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农业机械学报
【发表日期】
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2006年3期
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