基片开槽抑制SAW滤波器体声波的工艺研究

来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：c329619217

【摘要】

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当叉指换能器在基片上激励声表面波模式时,同时伴随着体声波的激励.文章根据叉指换能器的激励原理,采取对压电基片背面开槽抑制叉指换能器体声波进行了实验研究.分别在ST、LT

【作者】

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张传志

【机构】

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四川压电与声光技术研究所

【出处】

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压电与声光

【发表日期】

：

2002年1期

【关键词】

：

体波抑制叉指换能器声表面波基片开槽 SAW滤波器 BAW suppression IDT SAW

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当叉指换能器在基片上激励声表面波模式时,同时伴随着体声波的激励.文章根据叉指换能器的激励原理,采取对压电基片背面开槽抑制叉指换能器体声波进行了实验研究.分别在ST、LT、LN压电基片上背面开槽并制作了中心频率为28 MHz、70 MHz、71 MHz、120 MHz声表面波滤波器.实验观察了体声波的抑制情况,并得出了具体实验数据.

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