【摘 要】
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本文对采用355nm和266nm波长激光在不同参数下切割蓝宝石衬底的效果进行比较,对如何取得好的切割效果和表面质量进行研究,实验结果表明266nm激光更加适合进行蓝宝石衬底的切
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本文对采用355nm和266nm波长激光在不同参数下切割蓝宝石衬底的效果进行比较,对如何取得好的切割效果和表面质量进行研究,实验结果表明266nm激光更加适合进行蓝宝石衬底的切割,并且给出了获得更好的加工后表面质量的方法。
In this paper, the effect of cutting sapphire substrates with 355nm and 266nm wavelength laser at different parameters is compared, and how to obtain good cutting effect and surface quality is studied. The experimental results show that 266nm laser is more suitable for sapphire substrate cutting, Out of the way to get better surface quality after processing.
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