【摘 要】
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探索大气压下Ar/CF4放电产生的高活性含氟等离子体的特性,为含氟基团的材料改性提供理论和试验支持,选取纳秒脉冲电源对Ar/CF4混合气体进行同轴管状介质阻挡放电研究。改变CF
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探索大气压下Ar/CF4放电产生的高活性含氟等离子体的特性,为含氟基团的材料改性提供理论和试验支持,选取纳秒脉冲电源对Ar/CF4混合气体进行同轴管状介质阻挡放电研究。改变CF4的体积分数后,测量气体放电的点火电压和脉冲电流,拍摄其放电发光图像,同步采集气体放电的发射光谱图。利用玻尔兹曼斜率法计算放电产生的等离子体的电子激发温度,采用非类氢原子Ar的Stark展宽计算电子密度。结果表明:Ar/CF4混合气体的点火电压随
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