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碳化硅（SiC）抛光工艺研究

来源 :云光技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yeyuxx008

【摘 要】

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摘要：碳化硅（SiC）作为一种优良的反射镜材料，已逐渐应用于红外光学系统之中。对碳化硅材料的加工方法做出研究和探讨，就碳化硅的抛光工艺研究进行详细的说明，分析影响抛光质量的原

【作 者】

：

胡忠 冯渊 黎霞 应常宇 

【机 构】

：

云南北方驰宏光电有限公司

【出 处】

：

云光技术

【发表日期】

：

2013年2期

【关键词】

：

碳化硅 精磨 抛光模 抛光剂 抛光 

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摘要：碳化硅（SiC）作为一种优良的反射镜材料，已逐渐应用于红外光学系统之中。对碳化硅材料的加工方法做出研究和探讨，就碳化硅的抛光工艺研究进行详细的说明，分析影响抛光质量的原因，指出加工的难点所在，并给出相应的加工工艺。

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