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闸述了由纵弯振子驱动的超精密直线位移实验平台，在实验平台上安装了微动机构，其位移通过高精密的传感器进行检测。通过纵弯振子直线型超声波电动机的驱动原理及结构特点，分析了预压力和激振频率对其性能的影响。提出了通过控制微型滑块的运动实现更高精度定位的方法。
超声波精密直线位移机构的设计
【摘 要】
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闸述了由纵弯振子驱动的超精密直线位移实验平台，在实验平台上安装了微动机构，其位移通过高精密的传感器进行检测。通过纵弯振子直线型超声波电动机的驱动原理及结构特点，分析了
【机 构】
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沈阳大学机械工程学院
【出 处】
：
精密制造与自动化
【发表日期】
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2009年1期
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