【摘 要】
：
采用二氧化硅/碳化硅复合靶,用射频磁控共溅射技术和后高温退火的方法在Si(111)衬底上制备了碳化硅纳米颗粒/二氧化硅基质(nc-SiC/SiO2)镶嵌结构薄膜材料.用X射线衍射(XRD),
【机 构】
：
山东师范大学物理与电子科学学院半导体研究所
论文部分内容阅读
采用二氧化硅/碳化硅复合靶,用射频磁控共溅射技术和后高温退火的方法在Si(111)衬底上制备了碳化硅纳米颗粒/二氧化硅基质(nc-SiC/SiO2)镶嵌结构薄膜材料.用X射线衍射(XRD),傅里叶红外吸收(FTIR),扫描电子显微镜(SEM)和光致发光(PL)实验分析了薄膜的微结构以及光致发光特性.实验结果表明,样品薄膜经高温退火后,部分无定形SiC发生晶化,形成β-SiC纳米颗粒而较均匀地镶嵌在SiO2基质中.以280 nm波长光激发薄膜表面,有较强的365 nm的紫外光发射以及458 nm和490 n
其他文献
莼菜Brasenia.Schrebri J.F.Gmel为睡莲科植物.又名茆(<诗经>)、水芹(<齐民要术>)、丝莼(<唐本草>)、马蹄草、缺盆草(<经验良方>)、锦带(<本草纲目>)、马粟草(<现代实用中药>
据物理学家组织网10月15日（北京时间）报道，英国曼彻斯特大学研究人员最新研究显示，把单原子层精确地堆叠起来，有望造出大量新型材料和设备，石墨烯及有关单原子厚度晶体为此提供了广
根据纳米机械和微机械中杆的晶格振动量子化的结论,推导了杆的原子均方位移公式,并用Lindeman熔化判据,分析了纳米机械和微机械中杆的熔化性质。结果表明,微机械和纳米机械中
利用粒度分析仪、TEM、XRD等表征手段,研究了溶胶-凝胶法制得的纳米TiO2溶胶经热压处理后,纳米TiO2的晶粒尺寸和晶型对其薄膜的光电催化活性的影响.结果发现,经过200℃热压处