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介绍了早期硅芯炉速度控制单元,此单元多采用直流伺服控制系统。由于其中间环节复杂,信号传输慢,易受干扰,长期使用稳定性差等问题,提出了几种速度控制系统改进方案。经实验验证,采用全数字交流伺服控制系统为最佳设计方案。
硅芯炉速度控制系统设计方案探讨
【摘 要】
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介绍了早期硅芯炉速度控制单元,此单元多采用直流伺服控制系统。由于其中间环节复杂,信号传输慢,易受干扰,长期使用稳定性差等问题,提出了几种速度控制系统改进方案。经实验
【机 构】
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西安理工晶体科技有限公司
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
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2012年2期
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