InP基In0.53Ga0.47As光电探测器的量子效率优化

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lewisgw
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建立了不同结构的InP基PIN型In0.53Ga0.47As探测器光响应的物理模型.通过引入收集效率函数,模拟计算了探测器量子效率和光响应.采用该模型分别研究了正面进光和背面进光情况下典型的In0.53Ga0.47As/InPPIN探测器的结构参数对器件量子效率的影响,在此基础上提出了两种改进的背照射InGaAs/InP探测器结构,并讨论了其结构参数的优化.
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