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介绍了一种基于PZT薄膜的无阀压电微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷（PDMS）作为泵膜，自制的压电圆型薄膜片作为驱动部件，采用收缩管／扩张管结构，压电圆型致动片和PDMS泵膜的组合可产生较大的泵腔体积改变。在对微泵制备工艺研究的基础上，对其性能进行了实验研究，结果表明：电压和频率对流速均有显著影响。在7．5V、180Hz的正弦电压驱动下，该压电微泵的最大输出流速为2．05μL／min。该文制作的微泵具有流量稳定，驱动电压较低，性能稳定可靠和易控制等优点，可满足微流体系统的使用要求。