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根据电化学光整加工的技术特点，简单阐述了电化学机械光整加工的机理和影响因素，确定了光整加工的工艺方案并进行了试验。在试验结果基础上对45钢工件光整加工前后表面轮廓不平度高度特性、间距特性、波纹特性、表面光谱反射比和表面微观形貌进行了对比分析，结果显示电化学机械光整加工能显著降低工件的表面粗糙度，改善工件表面质量和表面微观特性。