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介绍了以硅片为基础,采用微机械加工技术与薄膜技术制成的热式质量流量传感器的结构、工作原理及其主要技术特点,同时还介绍了以该传感器为核心部件组成的质量流量计与控制器的特点与应用示例.
新一代热式质量流量计
【摘 要】
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介绍了以硅片为基础,采用微机械加工技术与薄膜技术制成的热式质量流量传感器的结构、工作原理及其主要技术特点,同时还介绍了以该传感器为核心部件组成的质量流量计与控制器
【机 构】
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上海工业自动化仪表研究所,株式会社山武,上海创申自控仪表有限公司
【出 处】
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自动化仪表
【发表日期】
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2001年12期
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