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<正>自1980年日本铃木等发表MCZ(加磁场直拉)硅单晶以来,经过6年多的努力,MCZ硅单晶用作半导体器件的基片已占有巩固的地位.
MCZ硅单晶及其应用
【摘 要】
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<正>自1980年日本铃木等发表MCZ(加磁场直拉)硅单晶以来,经过6年多的努力,MCZ硅单晶用作半导体器件的基片已占有巩固的地位.
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1989年01期
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