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利用1995-2009年我国高技术产业分地区面板数据,运用随机前沿模型,分析高技术产业地区研发创新效率及其影响因素。主要的研究发现有:我国高技术产业地区研发创新效率处于较低的水平,离前沿面较远,尚有较大的提升空间;地区出口强度、地方基础设施和地理位置对研发创新效率有显著的正向影响,地方政府干预有显著的负向影响,而地区企业规模与研发创新效率呈显著的倒U型关系。本文结论为我国高技术产业研发创新的效率改善提供参考。