今日的洁净车间——兼谈常州半导体厂洁净车间设计

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洁净技术是一门新兴的科学。本文探讨了我国当前洁净车间的发展趋向和建筑设计问题。作者通过参加常州半导体厂洁净车间等设计的体会,结合我国近年来新建的洁净车间设计,提出我国高速度发展洁净技术的根本途经是发展装配式层流洁净室,采取高洁净度用装配式层流洁净室和一般洁净度用土建固定式相结合的建造方式;在平面布置中,为了更好的适应生产工艺灵活性和增加使用面积,打破“六道墙”的布局方式;合理开设窗户等。此外,阐明了在人、物净化中的合理设施、明确路线、敞通空间以及管道设置、装修、密闭材料等一些在设计中值得重视的问题。
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