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采用溶胶－凝胶（Sol-Gel）法合成稳定的前驱体溶液．在单晶硅（100）上用甩膜法制得了均匀致密的钛酸钡薄膜．利用差热－热重（DTA—TGA）技术分析了钛酸钡（BT）干凝胶的热演化过程。首次用电子探针显微镜（SPM）之原子力显微镜（AFM）直接地从三维的角度观测了钛酸钡薄膜微观形成过程。并用XRD技术跟踪了薄膜加热过程中物相的变化情况，得到了薄膜生长的基本信息，最终制得了表面光滑的钛酸钡薄膜，晶粒大小在50－70nm之间。最佳煅烧温度为700℃。