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分析了APSI104真空镀膜机等离子源的故障现象，给出了等离子源故障诊断与排除方法。
APS1104真空镀膜机等离子源故障诊断与排除
【摘 要】
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分析了APSI104真空镀膜机等离子源的故障现象，给出了等离子源故障诊断与排除方法。
【机 构】
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中国空空导弹研究院
【出 处】
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设备管理与维修
【发表日期】
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2006年1期
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