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加工中机床热误差是影响机床加工精度稳定性的关键因素，对其进行准确的分析至关重要。文章运用ANSYS软件建立超精密磨床主轴部件的有限元模型，分析主轴热源及初始条件，边界条件，通过计算得到磨床主轴的温度场、热应力及热变形量。分析结果说明了热误差为超精密磨削的主要误差，为后期加工和试验分析提供了参考依据。