真空太阳集热管磁控溅射镀膜机的自动化实现

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一引言真空镀膜机是太阳能真空管生产的关键设备,随着自动化技术的发展,其工艺要求及自动化程度也越来越高。最初的真空镀膜机控制系统采用继电器控制,由模拟线路板及单片机等电路组成实现控制功能,因线路繁杂以及电子元器件的不稳定造成设备性能的不稳定,并且给维修工作带来很大困难,另外操作界面不直观,误操作现象时有发生。
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