【摘 要】
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本实验目的在于探究清洗液处理光刻胶与多铁性氧化物界面粘附问题的效果,从而通过清洗获得高质量的干净的氧化物表面,从而为探针技术以及输运的测量扫清障碍。实验主要通过脉
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本实验目的在于探究清洗液处理光刻胶与多铁性氧化物界面粘附问题的效果,从而通过清洗获得高质量的干净的氧化物表面,从而为探针技术以及输运的测量扫清障碍。实验主要通过脉冲激光沉积技术生长原子级平整的多铁性氧化物薄膜,并通过激光直写和刻蚀技术得到多铁性的氧化物薄膜,用相应清洗液处理之后用扫描探针技术来分析判断清洁情况。主要清洗液为氨水双氧水,对三种材料进行探究分别为钛酸锶(STO),镧锶锰氧(LSMO),铋钨氧(BWO),发现清洗液对STO与BWO样品没有损害,对LSMO有所腐蚀,其中STO清洗效果最好,LSMO
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