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介绍了用光干涉法测量微加速度计零件变形的研究。将准直单色光投射入由一玻璃片和被 测件之间形成的空气楔中,被测件表面和玻璃片底面反射的光发生干涉,由面阵CCD接收。用快速傅立叶变换 (FFT)图像处理方法得到被测微悬臂梁的三维形变图。该方法可对微小器件的微位移作分辨力为 10nm的测量,并直观的显示测量结果。