化学气相沉积工艺对碳化硅纤维毡热解碳涂层的影响

来源 :南通大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hahahaha8
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以丙烷(C3H8)为碳源气体、碳化硅纤维(SiCf)毡为沉积基体,通过化学气相沉积工艺(CVD)在SiCf毡中沉积热解碳(PyC),分析了不同沉积温度、氮气与丙烷的气压比(PN2/PC3H8)和沉积时间对PyC沉积形貌和沉积厚度的影响.结果表明:沉积温度低于800℃时,PyC的沉积难以进行;系统总压为10 kPa、PN2∶PC3H8=2∶1、沉积温度为900℃的条件下可以获得均匀致密的PyC层;PN2/PC3H8、沉积温度的改变都可以使PyC层的形貌产生变化;对于厚度为5 mm的碳化硅纤维毡,沉积时间为6
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