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在芯片级铷原子钟中，需要微腔体来承载Rb-87滤光泡，为此，提出了一种用于制作高品质微腔体的新技术。为了获得光滑的腔体侧面和避免腐蚀过程中凸角处产生削角现象，研究中采用了超声腐蚀技术和凸角补偿技术。首先，分别在纯KOH溶液，并结合搅拌和超声等方法，对（100）硅片进行湿法腐蚀，并运用激光共聚焦扫描显微镜对腐蚀后的{111}表面进行粗糙度测量，表明运用超声腐蚀技术可以获得光滑的{111}腔体侧面。在此基础上，引入条形掩模凸角补偿方法进行微腔体腐蚀。实验结果表明：在80℃、质量分数为30％KOH、超声频率和功