总剂量辐照与热载流子协同效应特性分析

来源 :电子产品可靠性与环境试验 | 被引量 : 0次 | 上传用户:weizx20090123
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研究了总剂量辐照效应对0.35μm的NMOS器件热载流子测试的影响,结果发现:经过100 krad(Si)总剂量辐照的NMOS器件在热载流子测试时其阈值电压的变化量远远地大于未经辐照的器件的,其原因与总剂量辐照退火效应和辐射感生界面陷阱俘获热电子有关。
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