硅基LiNbO3薄膜的微结构研究

来源 :无机材料学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chenyong198966

【摘要】

：

利用透射电子显微镜及X射线衍射,研究脉冲激光沉积技术(PLD)在Si(001)衬底上生长LiNbO3薄膜的微结构.结果表明,在600℃的衬底温度、30Pa的氧分压条件下,在硅片表面5nm厚的非

【作者】

：

卢焕明叶志镇黄靖云汪雷赵炳辉

【机构】

：

浙江大学硅材料国家重点实验室

【出处】

：

无机材料学报

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

LiNbO3薄膜透射电子显微镜 PLD技术 LiNbO3 transmission electron microscopy pulsed laser de

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

利用透射电子显微镜及X射线衍射,研究脉冲激光沉积技术(PLD)在Si(001)衬底上生长LiNbO3薄膜的微结构.结果表明,在600℃的衬底温度、30Pa的氧分压条件下,在硅片表面5nm厚的非晶氧化层上生长的薄膜,为c轴择优取向的单相LiNbO3晶体.本文还讨论了获得c轴择优取向LiNbO3薄膜的生长机理.

其他文献

梦幻桂林炫丽起飞——桂林高新区创新纪实

一条青绸绿带，蜿蜒在万点峰峦之间，奇峰夹岸，碧水潆洄，峭壁垂河，青山浮水，风光绮丽，它不仅有“山青、水秀、洞奇、石美”四绝，而且有“深潭、险滩、流泉、飞瀑”佳景。这就是天下闻名

期刊

桂林高新区梦幻纪实创新起飞桂林山水产业建设旅游业风光

巷旁充填沿空留巷技术与应用

根据沿空留巷围岩变形特征对巷旁支护体的力学要求。确定了经济合理的配比。介绍了徐州矿务集团张集煤矿9422工作面运输巷采用该材料进行巷旁充填实现沿空留巷的工程实践，为沿

期刊

沿空留巷巷旁支护充填材料配比

硅基LiNbO3薄膜的微结构研究

其他学术论文