【摘 要】
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用溶胶凝胶法在石英基板上制备不同钽掺杂浓度的二氧化钛薄膜,并采取后续氢气退火的方法改善其光电性能以用于TCO薄膜。采取SEM、XRD等测试手段观察薄膜的微观形貌、结晶性能
【机 构】
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浙江大学硅材料国家重点实验室材料科学与工程学系
【基金项目】
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“十三五”国家重点研发计划课题资助项目(2016YFB0303900)
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用溶胶凝胶法在石英基板上制备不同钽掺杂浓度的二氧化钛薄膜,并采取后续氢气退火的方法改善其光电性能以用于TCO薄膜。采取SEM、XRD等测试手段观察薄膜的微观形貌、结晶性能及组成态,并利用四探针测试、可见光透过率测试和椭偏测试得出薄膜的电学和光学性能。结果表明掺杂钽元素以Ta~（5＋）形式存在于TiO_2晶格中,大大提高了二氧化钛薄膜的n型导电性能,这是由于掺钽后费米能级向导带方向移动所致。氢气退火后二氧化钛晶粒尺寸变大且均匀,薄膜的结晶性能得到改善,并且由于引入了更高浓度的氧空位,导电性能得到明显的提升。
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