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介绍了微结构功能表面加工中的问题，以同轴调制锯齿波微结构的金刚石超精密加工为例阐述了其加工原理．结合试验对刀具刀尖圆弧半径、被加工材料和切削液等切削条件与金刚石超精密切削加工后的微结构功能表面之间的关系进行了分析与讨论，并对主轴转速和刀具进给速度等切削用量与金刚石超精密切削出的微结构功能表面之间的关系进行了分析与讨论．