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主要介绍了长线在线测试系统在60 Co源辐射场中的应用。实验中 ,解决了辐射场低能散射对小电流测量带来的影响问题。在线测量减少了移位测量中的操作繁琐及退火效应带来的差异。该系统具有操作简单、测量方便、测量数据可靠的特点
CMOS器件总剂量效应长线传输在线测试系统
【摘 要】
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主要介绍了长线在线测试系统在60 Co源辐射场中的应用。实验中 ,解决了辐射场低能散射对小电流测量带来的影响问题。在线测量减少了移位测量中的操作繁琐及退火效应带来的差异。该系统具有操作简单、测量方便、测量数据可靠的特点
【机 构】
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西北核技术研究所,西北核技术研究所,西北核技术研究所,西北核技术研究所,西北核技术研究所 陕西西安710024,陕西西安710024,陕西西安710024,陕西西安710024,陕西西安710024
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2001年05期
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