论文部分内容阅读
近日,投资160亿元、占地面积近千亩的"三安光电第三代半导体产业园",在长沙高新区开工建设。该产业园主要用于建设具有自主知识产权的衬底(碳化硅)、外延、芯片及封装产业生产基地。这里,也将诞生我国首条碳化硅全产业链生产线。第三代半导体材料及器件,是当前全球半导体材料产业的研究热点。其中,碳化硅、氮化镓是第三代半导体材料中成熟商用材料的典型代表.