【摘 要】
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本文介绍了在提高砷化镓霍尔元件灵敏度、线性度及温度稳定性等方面所采取的改进措施;设计了新颖的图形,以降低元件的不等位电势及提高线性度,取得良好的结果。
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【机 构】
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沈阳仪器仪表工艺研究所,沈阳仪器仪表工艺研究所,
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本文介绍了在提高砷化镓霍尔元件灵敏度、线性度及温度稳定性等方面所采取的改进措施;设计了新颖的图形,以降低元件的不等位电势及提高线性度,取得良好的结果。
In this paper, we introduced some improvements in improving the sensitivity, linearity and temperature stability of gallium arsenide (GaAs) Hall devices. We designed novel patterns to reduce the unequal potential of the devices and improve the linearity, and achieved good results .
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