【摘 要】
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采用In-3Ag钎料对封装微光机电系统（MOEMS）的可伐盖板和锗窗进行无助焊剂真空密封钎焊,分别应用SAM对钎焊界面进行缺陷检测,应用SEM及EDX对钎料与金属化界面形成的化合物进行研
【机 构】
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华北光电研究院红外器材一部,华中科技大学武汉光电国家实验室
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采用In-3Ag钎料对封装微光机电系统（MOEMS）的可伐盖板和锗窗进行无助焊剂真空密封钎焊,分别应用SAM对钎焊界面进行缺陷检测,应用SEM及EDX对钎料与金属化界面形成的化合物进行研究以及通过拉伸试验对钎缝的抗拉强度进行分析。结果表明,应用In-3Ag钎料真空密封钎焊,可以获得均匀、无缺陷及高抗拉强度的钎缝,微观分析得出两端金属化层Au完全与液态钎料反应,分别在界面和钎料中形成连续的岛状和块状的AuIn2相,在近可伐一侧界面In,Ni和Au形成了一层连续波浪状的化合物,紧临其上是一层层状的AuIn相;
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