【摘 要】
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为了减小传感器定位对测量结果的影响和传感器拆装麻烦以及传感器多问题,提出了一种改进的三点法。该方法通过简化模型,计算出传感器的定位误差、倾斜度误差、错位误差的测量
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为了减小传感器定位对测量结果的影响和传感器拆装麻烦以及传感器多问题,提出了一种改进的三点法。该方法通过简化模型,计算出传感器的定位误差、倾斜度误差、错位误差的测量误差值,比较传感器不同方向的误差计算值,结合高精度旋转刻度盘和光栅尺,对测量结构进行改善。实验结果表明,该方法能够正确分离工件的形状误差和回转误差,测量误差能够达到±0.05μm,测量重复性好,能够减小工件的检测成本和安装时间。
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