IBAD法沉积TiN薄膜的机械和耐腐性

来源 :中国民航学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhm4150175

【摘要】

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用离子束辅助沉积(IBAD)方法在医用不锈钢317L基底上沉积TiN陶瓷薄膜.通过X射线衍射(XRD)和俄歇电子能谱(AES)分析研究了薄膜的微结构;测试了薄膜的耐磨性及薄膜与基底的附着

【作者】

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李立王娟

【机构】

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中国民用航空学院,中国民用航空学院

【出处】

：

中国民航学院学报

【发表日期】

：

2005年2期

【关键词】

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离子束辅助沉积(IBAD) 氮化钛(TiN) 机械性能腐蚀 IBAD Titanium Nitride(TiN) mechanical properties

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用离子束辅助沉积(IBAD)方法在医用不锈钢317L基底上沉积TiN陶瓷薄膜.通过X射线衍射(XRD)和俄歇电子能谱(AES)分析研究了薄膜的微结构;测试了薄膜的耐磨性及薄膜与基底的附着力:运用电化学腐蚀的方法检测了薄膜在Hank's模拟体液中的耐腐蚀性能.研究结果表明:用高、低能氮离子束兼用的IBAD方法沉积TiN多晶薄膜后,材料表面结构和性能发生明显改变,表面硬度和耐磨性有明显提高,在Hank's模拟体液中显示出更强的抗腐蚀能力.

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