【摘 要】
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研究了压电基片上聚二甲基硅氧烷（PDMS）薄膜对声表面波（SAW）传播特性影响。在128°YXLiNbO3压电基片上光刻叉指换能器（IDT）,其声传播路径上涂覆PDMS薄膜,IDT激发的SAW加热PDMS
【机 构】
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常州工学院电子信息与电气学院,宁波大学微纳电子系统研究所
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研究了压电基片上聚二甲基硅氧烷（PDMS）薄膜对声表面波（SAW）传播特性影响。在128°YXLiNbO3压电基片上光刻叉指换能器（IDT）,其声传播路径上涂覆PDMS薄膜,IDT激发的SAW加热PDMS薄膜上石蜡油微流体,并测量不同PDMS薄膜厚度时石蜡油微流体的温度,进而计算薄膜对SAW的衰减量。实验结果和理论计算表明,压电基片上涂覆PDMS薄膜将衰减辐射入石蜡油微流体的声表面波强度,衰减幅度随基片上PDMS薄膜厚度的增加而增加。当压电基片上涂覆的PDMS薄膜厚度为100μm和150μm时,
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